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制作国家用电器子装备创制,中华夏族民共和国电科举行微电路大旨器具展

作者:AI应用    来源:未知    发布时间:2020-02-25 06:17    浏览量:

2018年政府工作报告指出:“发展智能产业,拓展智能生活。运用新技术、新业态、新模式,大力改造提升传统产业。”智能制造等新兴产业迎来了新的历史发展机遇。

近日,中国电子科技集团有限公司在京举办集成电路核心装备展,从“大国重器”“自主可控”“军民融合”“智能制造”四个角度,全方面总结该集团公司集成电路产业安全、自主可控方面取得的成绩。

春风吹,百草生。

“大国重器”展区展示了该集团公司在集成电路关键设备方面的突破和成果。瞄准集成电路的核心关键,自2009年起,中国电科在国家科技重大专项的支持下,先后突破了离子注入机、化学机械抛光设备等若干攻关难度大、带动力强的集成电路关键装备核心技术;取得了发明专利授权146项,获得了省部级以上奖励22项;建成了符合SEMI标准的离子注入机批量制造平台、设立博士后科研工作站;CMP研发平台获批“北京市化学机械平坦化工艺设备工程技术研究中心”;国产首台离子注入机、200mmCMP设备进入国内著名集成电路企业大生产线,先进封装设备具备集成服务能力,进入国内先进封装龙头企业。

近年来,中国电子科技集团有限公司将智能制造作为供给侧结构性改革、打造新动能的一个重要领域,集聚集团公司各级成员单位的制造资源和创新能力,促进制造技术与数字化技术、互联化技术、智能化技术深度融合,牵头制定相关智能制造国家标准,推出智能制造整体解决方案,打造安全可控的智慧院所标杆和多个行业引领的智能制造示范工程,走出了一条独具特色的以装备为基础的智能制造之路。在过去单机设备研制的基础上,中国电科正逐步实现整线装备自动化、数字化、智能化,开启中国制造“无人工厂时代”。

“自主可控”展区展示了立足核心元器件制造自主可控,该集团公司形成的整线装备集成服务能力。立足自主可控,中国电科联合国内有关设备厂家,承担起整线装备国产化的重任。截至目前,中国电科自主研制的20余种微组装设备达到国际先进水平,制定了微组装关键工艺设备通用规范和行业标准108项,改变了我国雷达用T/R组件微组装设备依赖进口的现状,先后为众多军工科研生产骨干单位提供了多条生产线。同时,围绕5G通信、相控阵雷达、智能电网等军民应用领域第三代半导体器件制造需求,中国电科已形成了第三代半导体设备局部成套能力,并广泛应用。

据悉,截至2017年9月,在国家级智能制造重大工程中,中国电科共有12个项目入选工信部和财政部联合实施智能制造专项行动项目,名列央企前茅。其中,目前已经建成国内首个500MW的高效光伏电池智能制造示范线、首个微电子共烧陶瓷器件数字化车间,作为工信部智能制造试点示范,成功经验已经在行业内复制推广。

“军民融合”展区展示了该集团公司将军工装备核心技术,应用于平板显示、光伏、半导体照明、动力锂电池等关键设备、工艺及相关产业的成效成果。国内最大、最早的光伏整线装备供应商、系统集成商,国内最大的平板显示后制程设备供应商,国内最大的LED芯片关键设备供应商和系统集成商,动力锂电池材料制造装备行业前三强……一系列身份印证中国电科在军民融合发展方面的不懈努力,也记录了国产集成电路装备与工艺的逐步自主创新、迭代发展的过程。目前,中国电科研制的各型装备已走进企业、走出海外,为国民经济发展贡献力量。

500MW的高效光伏电池智能制造示范线是国内智能装备国产化程度最高的太阳能电池制造工厂,生产中每一个环节都由计算机数字化把控,产品的良品率高达98%以上,机械臂和AGV小车每天承担35万片高效电池片精准无误的抓取和传递运输工作,厂房里的操作工人数量屈指可数。作为工信部首批智能制造试点示范,这条线在实现工艺设计数字化、制造装备自动化、生产管理信息化的基础上,可以在减少一半以上工作人员的同时,仍然将生产效率提高30%。

“智能制造”展区展示了该集团公司践行“中国制造2025”战略,推动装备成套化、智能化、系统化发展的成果。2015年以来,集团公司先后建成了国内首个高效PERC光伏电池智能制造示范线、首个微电子陶瓷器件数字化车间,并双双入选工信部智能制造试点示范名单。高效光伏电池智能生产线,可减少生产人员70%以上,提高生产效率20%,降低运营成本30%,降低产品不良品率30%,提高能源利用率15%,产线设备国产化率达90%以上。微电子陶瓷器件数字化车间可提高生产效率30%,降低运营成本20%,降低产品不良品率20%,减少生产人员50%以上,产线设备国产率达95%以上。 来源:国防科工局网站

微电子陶瓷器件数字化车间,则是针对多品种、小批量、订单式生产的微电子陶瓷器件智能制造和数字化车间建设需求,开展的数字化车间总体架构设计、智能生产线装备系统集成、制造执行系统集成应用等技术研究。该项目立足形成自主安全可控的智能制造装备、制造执行系统(MES)、数字化车间监控软件等产品和离散型数字化车间系统集成新模式服务能力,通过自主研制推动电子信息制造业技术进步。

车间包括智能工艺设备、智能物流传输系统、工业以太网络、MES生产执行系统、数据采集与监视控制系统以及相应的硬件设施,可实现LTCC基板工艺设计数字化、制造装备自动化、生产管理信息化,使整个生产线上的人员可减少50%以上,LTCC基板的生产效率提高20%。

两个典型应用,不过只是中国电科智能制造的一个缩影。

“集团公司必须紧紧抓住这一重大历史机遇,重点推进智能制造和机器人研究。”2018年工作会上,总经理刘烈宏将“智能制造工程”列为2018年重点推进实施的“五项工程”之一,并强调要加强智能制造工程的顶层策划、大力发展集成电路制造关键装备设备、积极推进从传感器到整机的全产业链关键技术布局、推进一批智能制造示范工程等——对中国电科智能制造工程做出了全面而深入的部署。

智能制造,中国电科正在全力加速。 来源:国防科工局网站

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